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半导体行业

FWA-6320T 自动超声波清洗机

清洗对象:蓝宝石晶片切割后、退火前、研磨后清洗
清洗流程:热溶剂浸泡清洗→溶剂超声波清洗→溶剂超声波清洗→纯水超声波漂洗→纯水超声波漂洗→纯水超声波漂洗
典型用户:青海晶煜晶体科技有限公司 (3台)
  • 详情参数
  • 一、 设备用途:
    本设备用于蓝宝石材料清洗工艺。

    二、设备处理量
    2.1 以专用提篮为片盒载具入槽进行处理,每槽同时处理一个专用提篮,提篮规格为420×330×350mm, :采用6mm不锈钢元棒焊接制作;
    2.2 篮装载量为:一次性可装 2 寸花篮 4 个,4 寸花篮 2 个,6 寸花篮 1 个
    2.3 专用提篮入槽、出槽及工位间(上料位、四个工艺槽体、下料位)传递均由人工完成。
    2.4 专用提篮数量:4个;晶片承载器由用户另行购买;
    2.5 生产节拍:5-10min/篮

    三、设备总体描述
    3.1 设备结构外形
    3.1.1 设备结构外形如图一所示,整机主要由机架、槽体、电控单元、水路系统及气路系统等组成。         
    3.1.2 设备机架、槽体采用不锈钢结构,外封板全部选用10mm白色PP板制作,底架及支架不锈钢方通焊接组装。
    3.1.3 整机管路系统设置在设备后下方。
    3.1.4 设备前、后下方均设有维护门。
    3.1.5 设备底部配有防腐脚轮和支撑地脚。

    3.2 设备安全设置
    3.2.1 具有漏电断路保护装置。
    3.2.2 具有过载及过温保护功能
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